Idealios ėsdinimo proceso charakteristikos

Idealus oforto procesas turėtų turėti šias pagrindines savybes, kad būtų patenkinti aukšto tikslumo reikalavimai, susiję su puslaidininkių gamybos ir kitų mikro nano perdirbimo laukų reikalavimais:

① Anizotropinis ėsdinimas, kuris reiškia tik vertikalų ėsdinimą be šoninio gręžimo . tik tokiu būdu galime užtikrinti tikslų geometrinių formų replikaciją, identišką tiems, kurie yra atsparusiems išgraviruotai plėvelei;
② Geras ėsdinimo selektyvumas reiškia, kad ėsdinimo greitis, naudojamas kaip kaukė, ir apatinė plona plėvelė ar medžiaga yra daug mažesnė nei išgraviruotos plonos plėvelės, siekiant užtikrinti pasipriešinimo maskavimo efektyvumą ėsdinimo proceso metu ir užkirsti kelią kitoms medžiagoms, esančioms po plona plėvele, pažeidimą;
③ Didelės perdirbimo partijos, lengvas valdymas, mažos išlaidos, minimali aplinkos tarša, tinkama pramoninei gamybai .